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Tecnai G20透射电镜高压故障的排除与维修

Checking and Maintenance of HV Troubleshooting in Tecnai G20 TEM

    摘要
  • 摘要: 介绍了SF6绝缘气体分解引发的电子枪高压故障的查找和排除方法，以及Tecnai G20透射电镜日常维护的一些经验与体会。

     

    Abstract: The checking and removal methods for the HV troubleshooting caused by SF6 decomposition, and some experiences in daily maintenance on Tecnai G20 TEM are introduced.

     

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